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多晶硅烧结炉

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多晶硅烧结炉

产品介绍

  多晶硅烧结炉应用领域:用于多晶硅坩埚烧结、烘烤等工业领域,每炉可同时容纳1~6工位坩埚烧结处理。该设备也可用于模具、铸件等金属件的淬火、退火等热处理。
特点:多层保温结构;侧面炉壳和炉门采用双层隔热结构,外壳温度低,绝热性好。
加热方式:加热元件合理布置于炉膛两侧、后墙、炉门、台车工作面底部,共5面加热提高炉温均匀性。
加热元件:合金丝制作成螺旋状或波纹状,缠绕在陶瓷管或瓷钉组上,有效保证其热辐射性和寿命。
台车工作面上铺设碳化硅炉板,保护底部加热元件。
台车采用一体化路轨或无轨式(根据用户要求)。
炉膛两侧配置冷却风机,顶部开排气通道,有效地提高冷却速度。
温差:炉膛内部温差在5℃ 以内。
控温精度:±1℃
用户可根据热处理工艺任意编辑曲线,操作简单。

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